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TEM-TECH​

가스용 Gas

HYP IGS

HYP6700
표시기 일체형 다기능 압력 센서
설치 방향을 가리지 않는 표시 회전기구를 실현
​
압력 센서 HYP에 1.125 "크기의 표시기를 탑재
가스 접촉부 : SUS316L
게이지 압력 : -0.1 or 0 ~ 0.5, 1MPa
4 자리 표시 대응
전류 / 전압 출력 대응. 표시부의 회전 가능
Gas Panel
HYP6801
표시기가 있는 다기능 압력 센서
설치 방향을 가리지 않는 표시 회전기구를 실현
​
압력 센서 HYP에 1.125 "크기의 지시자를 탑재
가스 접촉부 : SUS316L
게이지 압력 : -0.1 or 0 ~ 0.5, 1MPa
4 자리 표시 대응
전류 / 전압 출력 대응. 표시부의 회전 가능(360 ℃)
Gas Panel
HYPFU
IGS Gas Panel용 압력 센서
고정밀도 · 환경 변화에 대해 높은 안정성을 실현
​
가스 접촉부는 ALL SUS316L 가스 패널용 압력 센서
게이지 압력 : -0.1 or 0 ~ 0.3, 0.5, 1MPa
전류 / 전압 출력, 각종 IGS 싸이즈의 C-seal, W-seal
가스 접촉부 : SUS316L
반도체 제조 장비용 Gas Panel
HYW SERIES

가스 공급 라인 (CC, VMB, BSGS)에서 효과를 발휘하는 고정밀 압력 센서
기존 제품에 비해 안정성이 향상

고 내식성 하스텔로이 다이어프램 압력 센서
-0.1 or 0 ～ 0.5, 1, 2, 3.5, 20, 25, 35MPa
전류 / 전압 출력, VCR / UJR 등 풍부한 라인업
가스 접촉부 하스텔로이 C-22, SUS316L
CC, VMB, Gas Panel
HYWSMV
HYWTMV
HYZ-IGS

​압력 센서 HYP에 1.125 "크기의 지시자를 탑재
가스 접촉부 : SUS316L, 하스텔로이 C-22
게이지 압력 : -0.1 or 0 ~ 0.5, 1MPa
4 자리 표시 대응
전류 / 전압 출력 대응. 표시부의 회전 가능
Gas Panel
HYZ-6700
HYZ-6801

HYZ-VCR

HYZSMV
​마이컴 탑재 고정밀 압력 센서
고 내식성 하스텔로이 다이어프램 탑재
디지털 처리에 의한 보정으로 안정성이 향상
-0.1 or 0 ~ 0.5, 1, 2, 3.5, 5, 20MPa
온도 보정 기능을 통해 안정성 ± 0.02 % FS / ℃ (온도 보상 범위내)
가스 접촉부 : 하스텔로이 C-22, SUS316L
CC, VMB, Gas Panel
HYPFU-420Z
마이컴 탑재 고정밀 압력 센서
Seal부의 체결이 제로 값에 영향을주지 않는 구조
고 내식 하스텔로이 다이어프램 채용 가스 패널용 압력 센서
-0.1 or 0 ~ 0.5, 1MPa
전류 출력, 각종 IGS 싸이즈의 C-seal, W-seal
가스 접촉부 : 하스텔로이 C-22, SUS316L
반도체 제조 장비용 Gas Panel
SE1000

SE1000SMV

절대압 압력 센서
진공 용기 및 가스 공급 라인에서의 로드 록에 최적
진공 압력 모니터링용 절대압 압력 센서
절대압 : 0-760, 1000Torr
전류 / 전압 출력 VCR / UJR 등 풍부한 라인업
가스 접촉부 : SUS316L
진공 용기 및 가스 공급 라인의 로드 록

케미칼용 Chemicals

SE2201
알루미나 세라믹에 의한 내부식 성능을 가진 미압 계축 가능한 측정 센서
0 ~ 50, 100kPa
전류 출력 Tube 연결
접액부 : PFA (body), 세라믹 (다이어프램), 바이톤 (O-ring)
배기 라인, 약액 탱크
SE3200​
PFA 일체형 압력 센서
강산, 강알칼리에 최적인 PFA센서
-0.1 or 0 ~ 0.3, 0.5, 1MPa
전류 / 전압 출력, 플레어, Super300 등의 피팅에 대응
접액부 : PFA
약액 공급
SE4000
점도가 있는 CMP 슬러리의 압력 측정에 최적
데드 스페이스 (Dead Space)가 없기 때문에 CMP 슬러리의 경화, 기포등 문제가 없습니다.
데드 스페이스(Dead Space)가 없는 구조로 고점도에 대응 한 PFA 센서
-0.1 or 0 ~ 0.3, 0.5, 1MPa
전류 / 전압 출력, 플레어, Super300등의 피팅에 대응
접액부 : PFA
슬러리 공급
SE4000／6230 (디스플레이 일체형)
점도가 있는 CMP 슬러리의 압력 측정에 최적
표시기 일체형 SE4000/6200 시리즈는 현장의 압력 감시에 최적
데드 스페이스(Dead Space)가 없는 구조로 고점도에 대응한 표시 일체형 PFA 센서
-0.1 or 0 ~ 0.3, 0.5, 1MPa
전류 / 전압 출력, 플레어, Super300등의 피팅에 대응
접액부 : PFA
슬러리 공급

온도센서 (Temp.sensor)

SET102

강산, 강알칼리에 최적의 PFA 온도 센서
100 ℃ 대응
Pt100Ω 출력
접액부 : PFA
약액 공급

소형 디지털 표시기 ​

NPS1000B

​소형 디지털 압력 표시기
제어반 임베디드용 다기능 표시기
센서용 공급 전원 내장의 소형 표시기
4자리 표시 대응
전류 / 전압 / RS485 출력과 풍부한 라인업
24×48mm의 DIN 규격 대응
CC, 제어반